半導(dǎo)體清洗用超純水處理工藝流程

任何設(shè)備中的整體工藝流程非常嚴謹，需要不同程序相互配合。半導(dǎo)體清洗用超純水的水質(zhì)也要有嚴格要求，原水經(jīng)過南方泵的加壓進入四級預(yù)處理裝置，預(yù)處理能去除水中的鐵銹、大顆料物質(zhì)。最后經(jīng)過雙極反滲透裝置可以進一步去除水中的雜質(zhì)，最后經(jīng)過半導(dǎo)體清洗用超純水處理工藝最后一道工序微孔過濾器來對水進行深度處理使水達到用水要求。

半導(dǎo)體清洗用超純水標準

關(guān)于超純水設(shè)備的出水水質(zhì)有很多標準，對于不同企業(yè)生產(chǎn)過程中所用到的純水水質(zhì)也有所不同。半導(dǎo)體行業(yè)要遵循我國電子工業(yè)的相關(guān)標準，并且還要達到一些國外的水質(zhì)標準等。而且還能達到美國ASTM標準和德國、日本等標準，并且水質(zhì)穩(wěn)定不會造成二次污染。

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