1、多晶硅超純水設備的進水水源。水源的水質決定了多晶硅超純水設備的生產工藝。不同地區(qū)的水質受污染程度及地域差別等因素影響，水質也會有千差萬別。多晶硅超純水設備是依據一個地區(qū)的水質決定設備自身的生產工藝設計。水質越差的地區(qū)，多晶硅超純水設備的生產工藝就越高，從而增加了設備的制造成本，提高了產品的價格。

2、多晶硅超純水設備備本身的材質。通常超純水設備通體選用不銹鋼板材作為其材質。耐磨耐腐蝕的材質，不會生銹，可以避免超純水設備在制水的過程中與水接觸后產生一般材質的生銹腐蝕上網問題。一般情況下，超純水設備使用年限越長，板材的耐腐蝕性越強，就表明價格越貴。

3、用戶所需超純水設備的產水量。超純水設備按照產水量的不同可分為不同的型號。產水量越大的設備適合于需求更大的企業(yè)，自然其設備體積越大，價格越高。

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