隨著電子工業(yè)的發(fā)展，在芯片的生產(chǎn)加工過程中，對(duì)于水質(zhì)的要求也越來越高。為了保證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路，除高純?cè)牧稀⒏呒儦怏w、高純化學(xué)藥品外，超純水也是其中最關(guān)鍵的因素之一。

超純水系統(tǒng)是將一般的市政用水處理成對(duì)不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。超純水系統(tǒng)總體來說一般可分為三個(gè)部分：超純水制造區(qū)(CUB部分)、超純水拋光循環(huán)區(qū)(FAB部分)、超純水輸送管網(wǎng)(FAB各使用區(qū))。其中超純水制造區(qū)最為復(fù)雜，其又可分為：預(yù)處理、一次純水處理、超純水處理三個(gè)部分。

超純水系統(tǒng)

預(yù)處理部分主要包括：沙濾、活性碳塔(有的廠商在沙濾前還增設(shè)反應(yīng)槽、氣浮池)；一次純水處理部分主要包括：陰陽離子交換塔、脫氣塔(DG)、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級(jí)反滲透；超純水處理部分主要包括：MDG(脫氧膜組)、TOC-UV殺菌器、混床(MB)及終端過濾器。

考慮到在向工藝設(shè)備輸送高純水過程中，輸水管道會(huì)對(duì)水質(zhì)再次造成污染，因而在FAB內(nèi)一般都設(shè)立拋光循環(huán)系統(tǒng)。拋光循環(huán)系統(tǒng)主要以MB為核心，再加上超濾設(shè)備(UF)，以除去在向工藝生產(chǎn)線輸送純水的過程中，管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。

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